退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响

• 作者: 王晓飞 胡秋波
• 来源期刊: 河南科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: SrTiO3 漏电流 介电常数 介电损耗
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 5-7
• 分类号: O484.4
• 字数: 2272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6871.2011.04.002

摘要

在不同的退火气氛下,采用金属有机物分解法在(111) Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了SrTiO3薄膜材料,并对其结构和电学性能进行了研究.X射线衍射结果显示SrTiO3薄膜都呈现多晶立方钙钛矿结构.对比不同气氛下制备出的SrTiO3样品电学测量结果,发现在氧气氛中退火后,样品具有较低的漏电流和较好的介电性能,这可能是由于氧气氛中退火减少了SrTiO3薄膜内氧空位的浓度引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡秋波	洛阳理工学院数理部	13	14	2.0	3.0
2	王晓飞	河南科技大学物理与工程学院	17	11	2.0	2.0