并行像散共焦序列图片的物点正焦信息萃取

• 作者: 余晓芬 刘文文 范慧敏
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 并行共聚焦 微结构测量 像散 序列图片
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 485-489
• 分类号: TB92
• 字数: 4453字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2011.06.02

摘要

并行像散共焦系统是基于共焦探测原理实现微结构的三维形貌测量.采用微透镜阵列进行光束分割,实现并行探测.引入像散原理减小光学系统中的干扰和波动对探测特性的影响.通过萃取图片序列中各个并行物点探测曲线的“零”点,实现物点正焦位置辨识.阐述了基于序列图片萃取物点探测曲线“零”点过程中涉及的图片序列中并行光场的定位与分割策略、差动光能统计算法的优化与实现、物点探测曲线轴向有效区域裁定及其特性拟合等关键问题.据此开发的软件“微结构探测系统”能够快速可靠地实现全场物点正焦信息萃取,为微结构形貌的精确三维建模及可视化测量奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余晓芬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	97	756	14.0	22.0
2	刘文文	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	37	349	12.0	17.0
3	范慧敏	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	6	1.0	2.0