基于DMD的并行共焦图像处理方法研究

• 作者: 余卿 余晓芬 叶瑞芳 崔长彩
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 并行共焦测量 图像处理 数字微镜器件 点光源阵列
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 113-117
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2015.02.01

摘要

在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（ DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应对不同的测量场合。推导了DMD的空间光调制模型，规避了“泰伯效应”对并行共焦测量的影响，设计了可抑制光点横向漂移的远心光路，构建了基于DMD的并行共焦测量装置，对比了两种不同的并行共焦图像处理方法。实验结果表明，在没有设置高数值孔径物镜组的情况下，测量装置的纵向分辨率受到一定影响，但所设计的图像处理程序能够快速、准确地获取被测物面的形貌特征。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学制造工程研究院	55	459	12.0	20.0
2	余晓芬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	97	756	14.0	22.0
3	叶瑞芳	华侨大学机电及自动化学院	19	60	4.0	7.0