微波椭偏法测量不透明材料的厚度

• 作者: 张亮 曹力丹 潘永华 高惠滨
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 厚度 不透明材料 椭圆偏振法 微波
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 6-10
• 分类号: O435
• 字数: 3002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2011.02.002

摘要

在传统的激光椭偏法测量厚度的基础上,用微波取代激光测量了不透明材料的厚度.分析了偏转角及反射干扰产生的误差,并提出了修正方法.测量结果表明:该方法可以比较精确地测量铝板和塑料板的厚度;由于散射的影响,表面磨砂的有机玻璃板的厚度测量误差很大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张亮	南京大学材料科学与工程系	182	963	15.0	23.0
2	潘永华	南京大学物理系	39	113	5.0	8.0
3	高惠滨	南京大学物理系	12	22	3.0	4.0
4	曹力丹	南京大学匡亚明学院理科强化部	1	1	1.0	1.0