纳米级薄膜厚度自动椭偏测量系统设计

• 作者: 何振江 张成云 杨冠玲 黄佐华
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米薄膜 厚度测量 椭圆偏振
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 49-50
• 页数: 2页
• 分类号: TH744.2
• 字数: 2325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2002.06.020

摘要

椭圆偏振测量技术特别适于测量纳米级薄膜的厚度和折射率.本文介绍一种新型的反射消光型椭偏薄膜厚度自动测量仪的测量原理和仪器系统设计方法,详细分析了等幅椭圆偏振光的获取方法,椭偏参数测量方法以及仪器结构方面的设计问题,并报道了仪器样机已达到的性能标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理系	63	586	13.0	22.0
2	何振江	华南师范大学物理系	74	867	18.0	26.0
3	杨冠玲	华南师范大学物理系	73	689	16.0	22.0
4	张成云	华南师范大学物理系	5	70	5.0	5.0