利用调制式椭偏仪测量薄膜电光系数

• 作者: 李芳 王丹阳 王杰 莫党 陈王丽华
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电光系数 椭偏仪 PLZT薄膜 光学性质
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 1893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.01.008

摘要

利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得到薄膜的折射率的改变δn.最后用测量得到的厚度,折射率以及折射率的改变来计算薄膜的电光系数.该仪器的灵敏度很高,很适合较薄的膜层材料电光性质的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈王丽华	香港理工大学应用物理系	27	186	7.0	13.0
2	李芳	中山大学物理系光电材料与技术国家重点实验室	86	542	11.0	19.0
4	莫党	中山大学物理系光电材料与技术国家重点实验室	18	141	6.0	11.0
7	王杰	香港理工大学应用物理系	2	8	2.0	2.0
8	王丹阳	香港理工大学应用物理系	1	6	1.0	1.0