不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器

• 作者: 朱华铭 许高斌 陈兴
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度传感器 三轴 不等高梳齿 MEMS
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 704-710
• 分类号: TP212
• 字数: 2777字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2011.00704

摘要

利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器.水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高对称梳齿式；对称的布局方式,解决了各个轴向的相互干扰问题.利用有限元分析工具对设计进行模拟,证实了设计的合理性和可行性.X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0 fF/g,量程为±50 g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许高斌	安徽省微电子机械系统工程技术研究中心合肥工业大学电子科学与应用物理学院	3	26	2.0	3.0
2	陈兴	安徽省微电子机械系统工程技术研究中心合肥工业大学电子科学与应用物理学院	3	26	2.0	3.0
3	朱华铭	安徽省微电子机械系统工程技术研究中心合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	14	1.0	1.0