湿化学工艺导电性LaNiO3薄膜的制备表征及应用

• 作者: 彭焕英 杨亮亮 殷明志 蒋迪波
• 来源期刊: 化学研究与应用
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶工艺 LaNiO3薄膜 PZT/LNO
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 401-407
• 分类号: O614.3
• 字数: 4561字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1656.2011.04.003

摘要

为改进以醇盐为原料溶胶-凝胶制备LaNiO3(LNO)薄膜工艺中存在的诸多苛刻因素,本文以无机盐为原料,利用湿化学工艺在硅衬底上制备了LNO薄膜,La(NO3)3·6H2O和Ni(NO3)2·6H2O冰醋酸溶液通过配体交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液,回流时用乙酸酐(CH3CO)2O除硝酸根和结晶水,而乙酰丙酮(AcAc)部分取代醋酸盐分子中的醋酸根而形成的M(OAc)n-x(AcAc)x(M=La3+或Ni2+)能部分水解形成M(OH)n-x(AcAc)x.该羟基金属离子通过羟基聚合并与甲基纤维素(MCL)形成线状结构LNO溶胶,易于成膜.LNO薄膜经过550-850℃/60min退火形成多晶膺立方钙钛矿结构,其晶格参数a=3.84(A).四引线法测定厚度0.6μmLNO薄膜电阻率与温度的变化在-163-150℃之间能符合ρ=ρ0+AT2关系式.在1KHz测试频率下,测得Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)(52/48)薄膜剩余极化强度Pr在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si衬底和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别为19.6和23.5μC·cm-2,矫顽场分别为76.1和85.1 kV·cm-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷明志	西北工业大学理学院	18	34	4.0	5.0
2	杨亮亮	西北工业大学理学院	6	9	2.0	3.0
3	蒋迪波	西北工业大学理学院	5	6	2.0	2.0
4	彭焕英	西北工业大学理学院	6	14	2.0	3.0