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摘要:
采用化学溶液分解法直接在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,研究了不同热处理气氛(空气和氧气)对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅(PZT)薄膜的影响.结果发现二种气氛得到的LaNiO3薄膜的电阻率相差较大,其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的1/2.对LaNiO3薄膜的导电机制进行了讨论.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究
来源期刊 红外与毫米波学报 学科 物理学
关键词 退火气氛 LaNiO3薄膜 CSD 电阻率
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 269-272
页数 4页 分类号 O4
字数 3141字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.04.007
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研究主题发展历程
节点文献
退火气氛
LaNiO3薄膜
CSD
电阻率
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与毫米波学报
双月刊
1001-9014
31-1577/TN
大16开
上海市玉田路500号
4-335
1982
chi
出版文献量(篇)
2620
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3
总被引数(次)
28003
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