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化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究
化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究
作者:
于剑
孙璟兰
孟祥建
张伟风
李亚巍
王根水
褚君浩
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
退火气氛
LaNiO3薄膜
CSD
电阻率
摘要:
采用化学溶液分解法直接在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,研究了不同热处理气氛(空气和氧气)对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅(PZT)薄膜的影响.结果发现二种气氛得到的LaNiO3薄膜的电阻率相差较大,其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的1/2.对LaNiO3薄膜的导电机制进行了讨论.
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文献信息
篇名
化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究
来源期刊
红外与毫米波学报
学科
物理学
关键词
退火气氛
LaNiO3薄膜
CSD
电阻率
年,卷(期)
2003,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
269-272
页数
4页
分类号
O4
字数
3141字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1001-9014.2003.04.007
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
退火气氛
LaNiO3薄膜
CSD
电阻率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与毫米波学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院上海技术物理所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-9014
CN:
31-1577/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市玉田路500号
邮发代号:
4-335
创刊时间:
1982
语种:
chi
出版文献量(篇)
2620
总下载数(次)
3
总被引数(次)
28003
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