临界角法激光直写聚焦伺服系统静态特性研究

• 作者: 梁凤超
• 来源期刊: 电光与控制
• 学科: 工学
• 关键词: 隐身技术 激光直写 临界角法 自动调焦 伺服系统
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 工程应用
• 页码范围: 59-62,79
• 分类号: V271.4|TP273
• 字数: 3407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-637X.2011.05.014

摘要

为同时提高金属网栅屏蔽效率及红外透过率,要求激光直写线条细且均匀.而工件面型误差、光刻胶涂布不均匀性、机械轴系误差等会造成写入焦斑离焦,影响线条线宽及均匀性.需引入聚焦伺服系统来实时探测并补偿离焦,确保写入光束实时聚焦在光刻胶面上.给出了临界角法调焦的原理,搭建了由探焦光路、离焦信号前放、压电陶瓷微位移执行机构组成的聚焦伺服系统,进行了离焦误差静态特性实验研究.实验结果表明:系统的静态分辨力为±40nm,线性范围为±5μm,均满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁凤超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	38	4.0	5.0