基于视觉的单晶生长直径检测与监控

• 作者: 卢建霞 张国栋 程德富 赵其杰
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 直拉法 直径检测 图像处理
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 检测与监控
• 页码范围: 22-25
• 分类号: TP391
• 字数: 2740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2011.4a.07

摘要

将直拉法单晶硅生长过程分解为引晶阶段、引晶过渡阶段及等径生长等三个阶段,提出了基于视觉检测和通信控制相结合的单晶直径检测与监控方法,针对晶体生长不同阶段的特点设计了图像边缘特征信息检测及依据特征信息进行拟合的图像处理算法.根据提出的直径检测与监控方法,开发了单晶直径检测与监控的应用软件,在建立的系统中进行了初步试验研究,试验数据表明在一定精度条件下提出的方法是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵其杰	上海大学机电工程与自动化学院	34	439	11.0	20.0
2	张国栋	上海大学机电工程与自动化学院	6	62	4.0	6.0
3	程德富	上海大学机电工程与自动化学院	2	8	2.0	2.0
4	卢建霞	上海大学机电工程与自动化学院	7	35	4.0	5.0