不同金属掺杂对TiO2薄膜氧敏性能影响

• 作者: 代作海 王巍 王晓磊 王颖
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2 Fe W 氧敏特性
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 通用测试
• 页码范围: 11-13
• 分类号: TB43|O484.4
• 字数: 2630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2011.02.004

摘要

该文讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响,并比较了两者的异同.制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜,并在400℃下对薄膜氧敏特性进行了测试.结果表明.TiO2具有低电阻的特点,在高温下能够有效感应氧气浓度的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍	重庆邮电大学光电工程学院	72	264	9.0	10.0
2	王颖	重庆邮电大学光电工程学院	13	40	4.0	5.0
3	王晓磊	重庆邮电大学光电工程学院	5	11	2.0	3.0
4	代作海	重庆邮电大学光电工程学院	3	9	2.0	3.0