利用有限元法的陶瓷压阻式传感器仿真分析与优化

• 作者: 李结冻 毛磊 黄忠毅
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷压阻式传感器 有限元 线性度 灵敏度 优化
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: CAD/CAD/CAPP/CAM
• 页码范围: 82-85
• 分类号: TP212
• 字数: 2324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2011.11.017

摘要

阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理.利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差；随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优化后陶瓷压阻式传感器的线性度提高0.23％,灵敏度提高20.5mV/MPa.这些分析为此类传感器的设计提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛磊	浙江大学机械系	5	4	1.0	1.0
2	李结冻	浙江大学机械系	1	2	1.0	1.0