面向聚合物微器件超声波精密封接的阵列微导能结构

• 作者: 孙屹博 张苗苗 王晓东 罗怡
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波精密封接 MEMS 聚合物器件 导能结构 润湿
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 754-761
• 分类号: TB559
• 字数: 4091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111904.0754

摘要

为提高聚合物超声波精密封接的可控性,预防高温度场下聚合物的熔融流延影响封接界面质量和精度,提出了阵列式微导能结构.以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微小管道的封接为实验对象,研究了阵列微导能结构的尺度对超声波封接过程的影响;采用热压成型工艺在被封接表面制作了5组不同高度的微结构.采用基于声波传递效率反馈的超声波精密封接方式,对超声波作用下聚合物界面的润湿行为进行了观察分析,讨论了结构尺度对超声波封接质量的影响.结果表明,随着微结构尺寸的增大,实现完全联接需要的超声波能量呈递增的趋势.该种微导能结构有效控制了聚合物熔融流延,获得了均一的封接面,可实现高质量精密封接.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东		11	75	5.0	8.0
2	罗怡		6	26	3.0	5.0
3	孙屹博	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	7	38	3.0	6.0
4	张苗苗	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	7	59	3.0	7.0