激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的研究

• 作者: 于敏 戴振东 浦东林 耿路峰 陈林森
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 壁虎刚毛 微制造 二级结构 激光直写
• 年，卷（期）: 2011,（20）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2469-2475
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文

摘要

提出一种采用激光直写技术制备微纳阵列的新方法来制备仿壁虎刚毛二级结构微阵列。该制备过程由计算机控制完成。实验制备出具有不同几何尺寸的一级结构阵列，并在此基础上探索制备二级结构微阵列的三种方案，其中，“自上而下”的方案通过对曝光时间和显影时间的控制使第二级结构扎根于第一级结构中，有效提高了两级结构间的连接强度。制备实验的同时，分析了曝光时间、显影时间等参数对阵列制备的影响。激光直写制备微纳阵列的方法具有高效率、低成本的优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于敏		37	193	6.0	11.0
2	戴振东		162	2002	23.0	38.0
3	浦东林		22	47	4.0	5.0
4	陈林森		81	469	12.0	17.0
5	耿路峰		1	4	1.0	1.0