多晶硅生产中金属冷却器E0511abcd流程的技术改进

• 作者: 边维年
• 来源期刊: 青海科技
• 学科: 工学
• 关键词: 金属冷却器 附着氯化物 处理方法 氯硅烷 物料性质 设备选材
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 新能源经济
• 页码范围: 12-15
• 分类号: TQ111.16
• 字数: 3464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9393.2011.05.005

摘要

本文结合生产实际，介绍了闭环式三氯氢硅还原法的工艺流程和金属冷却器的作用，重点对亚洲硅业（青海）有限公司多晶硅生产中金属冷却器流程的改进、设备材料的选择及技改前后的经济核算进行了阐述。