磁控反应溅射MoS2/Ti/C复合薄膜的组织结构及摩擦磨损性能

• 作者: 何丹农 余震 尹桂林 李倩倩 郑慈航
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控反应溅射 MoS2/Ti/C薄膜 MoS2薄膜 组织结构 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 科技关注
• 页码范围: 14-16
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

为了提高MoS2薄膜在室温潮湿大气条件下的摩擦磨损性能,通过磁控反应溅射制备了MoS2/Ti/C复合薄膜.采用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的成分、相组成和形貌进行表征,采用纳米压痕仪测试薄膜的结合力、纳米压痕硬度,采用多功能微摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦系数,并采用真彩色高分辨率共聚焦显微镜观察薄膜的磨损形貌.结果表明:与MoS2薄膜相比,含非晶态Ti和C的MoS2/Ti/C复合薄膜的(002)滑移面平行于基体表面生长,不含(100)面,结构致密,与基体的结合力提高了7.05倍,纳米压痕硬度提高了7.11倍;在室温潮湿大气条件下,MoS2/Ti/C复合薄膜比Mos2薄膜具有更低的摩擦系数和更优异的耐磨性能,平均摩擦系数为0.103,磨损率为9.67×10(-7)mm3/(N·m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何丹农	上海交通大学材料科学与工程学院	116	1094	18.0	28.0
3	余震	上海交通大学材料科学与工程学院	10	158	5.0	10.0
6	尹桂林		13	75	4.0	8.0
7	李倩倩	上海交通大学材料科学与工程学院	7	35	3.0	5.0
11	郑慈航	上海交通大学材料科学与工程学院	2	5	1.0	2.0