CeO2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响

• 作者: 季力 李健 杨晶
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化铈掺杂 氧化锌薄膜 气敏特性 乙醇 丙酮
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 60-63
• 分类号: O484.4
• 字数: 3381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.07.018

摘要

ZnO薄膜进行CeO2掺杂,研究掺杂含量和热氧化对薄膜结构、表面、晶粒尺寸及气敏特性的影响.结果显示,用热蒸发制备的高纯Zn膜经500℃热氧化,获得c轴取向ZnO多晶薄膜.掺CeO2可抑制晶粒生长使颗粒细化平均粒径减小,同时改善了ZnO薄膜的体相化学计量比,Zn与O的比例从未掺杂时1∶1.28降到1∶1.191.XPS分析给出薄膜中Zn显+2价,O为-2价.掺CeO2(9％)可大大提高薄膜对乙醇和丙酮的敏感性,灵敏度分别达35和40.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学物理科学与技术学院	36	200	7.0	12.0
2	杨晶	内蒙古大学物理科学与技术学院	5	23	3.0	4.0
3	季力	厦门大学物理与机电工程学院物理系	1	10	1.0	1.0