悬浮栅结构ISFET的HSPICE仿真

• 作者: 刘洋 卫铭斐 董惠
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 离子敏场效应晶体管 HSPICE模型 静态仿真
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 5-7
• 分类号: TN386
• 字数: 1296字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.05.002

摘要

通过对ISFET敏感机理的分析,根据表面基模型,建立了悬浮栅结构ISFET器件的HSPICE行为模型,并对其静态输出特性,转移特性,以及pH值与界面势的关系进行了仿真,仿真结果表明:该模型与ISFET的理论和实验数据吻合较好.为ISFET/REFET差分结构集成传感器芯片设计提供了重要的理论参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董惠	西安建筑科技大学信息与控制工程学院	29	155	6.0	11.0
2	刘洋	西安建筑科技大学信息与控制工程学院	25	108	6.0	9.0
3	卫铭斐	西安建筑科技大学信息与控制工程学院	29	102	5.0	9.0