X射线散射法测量超光滑平面

• 作者: 伏瑞敏 孟晓辉 徐领娣 王永刚 金钊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 超光滑平面 X射线散射法 一级矢量微扰理论 功率谱密度
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 2011全国先进光学制造与战略新兴产业发展论坛暨学术会议论文
• 页码范围: 3218-3222
• 分类号: O434.19|O433.4
• 字数: 3428字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112312.3218

摘要

介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置.以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的HarveyShack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符.分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小.在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伏瑞敏		17	143	6.0	11.0
2	孟晓辉		7	19	3.0	4.0
3	王永刚		9	26	3.0	5.0
4	徐领娣		1	0	0.0	0.0
5	金钊		4	12	2.0	3.0