TiN类膜制备工艺的研究进展及应用

• 作者: 李莉平
• 来源期刊: 产业与科技论坛
• 学科: 工学
• 关键词: 表面技术 TiN类膜 制备工艺
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 97-98
• 分类号: TB383.2
• 字数: 2398字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5641.2011.04.052

摘要

文章简要介绍了利用化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、双辉技术及其它表面处理技术制备TiN类膜的研究进展,讨论了各种制备方法的工艺特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李莉平		4	2	1.0	1.0