双膜法+EDI组合工艺制备电子级磷酸用超纯水

• 作者: 谢华
• 来源期刊: 城市建设理论研究（电子版）
• 关键词: 电子级磷酸 超滤 RO反渗透 EDI 抛光混床
• 年，卷（期）: 2011,（31）
• 所属期刊栏目: 建设科技
• 字数: 2465字
• 语种: 中文

摘要

针对电子级磷酸用超纯水的特点，采用UF超滤、RO反渗透双膜法+EDI组合工艺进行水净化处理，使出水达到电子级磷酸用水标准。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢华		3	0	0.0	0.0