低温化学气相沉积两种DLC膜的摩擦性能研究

• 作者: 张涌海 葛世荣 陈文刚
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 DLC膜 Si-DLC膜 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 688-691
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2778字
• 语种: 中文

摘要

低温条件下在单晶硅表面沉积DLC膜和Si-DLC膜层，采用UMT-2微摩擦磨损实验机研究了两种膜层的摩擦磨损特性，借助拉曼光谱、X射线衍射仪及立体三维形貌仪分析了两种膜层的表面形貌和组成。使用扫描电子显微镜检测了两种膜层磨损后的表面形貌。结果表明两种膜层表面都非常平滑，属于纳米硬膜；两种膜层都具有良好的减摩托磨作用，其中DLC膜层的减磨性能好于Si-DLC膜，而Si-DLC膜的抗磨性能优于DLC膜。分析认为这是由于具有Si过渡层的DLC膜与硅基体的结合更为牢固造成的，但其同时促使DLC膜的减摩性能降低。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛世荣	中国矿业大学机电工程学院	216	3667	33.0	51.0
2	张涌海	西南林业大学交通机械与土木工程学院	1	0	0.0	0.0