金刚石线锯切割设备现状分析

• 作者: 刘莹 周世威 王进保 程煜 苏钰 郑超
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 线切割设备 金刚石线锯 综述 多线切割 金刚石环线切割机
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 产业与综述
• 页码范围: 49-52
• 分类号: TQ164
• 字数: 2482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2012.03.012

摘要

随着光伏、半导体等高精端产业的发展,硬脆性材料,如晶体硅、蓝宝石、特种陶瓷等材料的切割加工显得尤为重要.近年来,世界各国大力投入研究开发,新工艺,新设备不断涌现.金刚石线锯切割成为研究和发展的主流趋势,文章介绍国外切割设备研究的最新进展以及国内发展状况,分析其性能优势,展望金刚石线切割设备应用前景.