在线等离子清洗设备控制系统设计

• 作者: 刘畅 杨静 苗岱
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: IC封装 等离子清洗 在线式 控制系统
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 清洗技术与设备
• 页码范围: 16-22
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.01.004

摘要

作为一种精密干法清洗设备,等离子清洗机可以有效去除IC封装工艺过程中的污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量。与传统独立式的等离子清洗设备相比,在线式等离子清洗设备具有自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适应范围广等优点,适用于大规模全自动化生产。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘畅	中国电子科技集团公司第二研究所	13	42	3.0	6.0
2	杨静	中国电子科技集团公司第二研究所	28	39	4.0	5.0
3	苗岱	中国电子科技集团公司第二研究所	7	31	2.0	5.0