CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能

• 作者: 付英英 刘晓红 吉利 周惠娣 李红轩 陈建敏
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrN薄膜 CrAlN薄膜 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 34-41
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2012.06.006

摘要

采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)和不锈钢(1Cr18Mn8Ni5N)基材上制备了CrN和CrAlN薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化学组成、表面形貌、断面结构和力学性能进行了测试分析.利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察了两种薄膜在不同介质(空气、自来水、oil-1 (TAO-40)及oil-2 (150BS))中和Al2O3球对磨的摩擦学性能.结果表明:CrN薄膜中Al元素的掺杂并未改变薄膜晶体结构,但却降低了薄膜的表面粗糙度、增强了薄膜的致密性、提高了薄膜的力学性能、改善了水润滑和油润滑条件下薄膜的摩擦学性能.由于CrN和CrAlN薄膜的摩擦磨损性能显著依赖于测试介质,因此重点讨论了它们在不同介质中的摩擦磨损机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周惠娣	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	102	1549	23.0	35.0
2	李红轩	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	23	269	11.0	16.0
3	刘晓红	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	43	158	8.0	12.0
4	吉利	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	9	66	4.0	8.0
5	付英英	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	1	23	1.0	1.0