多孔质气悬浮气膜压力特性建模及试验研究

• 作者: 刘昊 钟伟 陶国良 香川利春 黎鑫
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔质 非接触式搬运 压力响应 刚度系数 阻尼系数
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 能源与机械工程
• 页码范围: 616-621,657
• 页数: 7页
• 分类号: TH138
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2012.04.007

摘要

为了研究多孔质气悬浮气膜压力特性以便对玻璃基板的非接触式搬运系统进行性能分析和优化设计,以具有代表性的区域单元为对象,建立包含多孔质特性和间隙流特性的气膜压力动态模型,利用有限体积法(FVM)进行求解.当多孔质表面空气薄膜受到工件的往复振动挤压时,压力响应相对间隙距离呈现明显的滞环现象,表现出弹性特性和阻尼特性.仿真和试验的结果表明,基于动态模型的计算结果与实验值吻合较好.气膜压力刚度系数随着间隙距离的减小而迅速增大,并受到供给流量与区域半径的影响.气膜压力阻尼系数受供给流量的影响甚小,受区域半径的影响显著,表明适当增加导轨宽度可以有效地加快工件自由振荡衰减速度.