一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法

• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 工艺方法 抗腐蚀 浆料 掩膜 清洗 种用 硅片表面 水喷淋
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 15-15
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.11
• 字数: 961字
• 语种: 中文

摘要

公开（公告）号：CNl02527676A 公开（公告）日：2012．07．04 发明（设计）人：孙良欣；徐国良；郭育林摘要：一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，包括以下步骤：（1）碱溶液鼓泡：利用鼓泡加速掩膜浆料的脱离、溶解，去除大部分掩膜浆料；（2）纯水喷淋：利用喷淋的方式快速去除硅片表面残留化学品；