微机电系统磁场传感器信号处理电路

• 作者: 秦明 陈洁
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 放大电路 滤波电路 感生电动势 磁场
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 835-839
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2445字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)磁场传感器微弱信号处理电路的设计,该处理电路是MEMS磁场传感器的重要组成部分,该电路由放大电路和滤波电路构成.对设计的处理电路进行模拟分析和实验测试,处理电路性能良好.外接MEMS磁场传感器后对传感器性能进行测试,传感器的电流-电压特性以及磁场-电压特性符合最初的设计要求,灵敏度可以达到14 mV/mT.实验表明该电路对输出信号进行了放大,并有效地抑制了噪声,且有良好的灵敏度.