微机电光学电流传感器的设计

• 作者: 刘玉菲 吴亚明 徐静 赵本刚 高翔
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 微机电系统 光学电流传感器 扭转微镜 双光纤准直器
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.12.007

摘要

提出了一种检测50 Hz交流电的微机电光学电流传感器.通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理,结合工艺条件给出了器件的设计要求,并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果.计算表明,器件可以测试1～7.2 kA的交流电,大电流下的灵敏度可达到0.01 dB/A以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵本刚	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	2	7	2.0	2.0
5	徐静	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	3	20	3.0	3.0
6	高翔	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	2	16	2.0	2.0
10	刘玉菲	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	2	7	2.0	2.0