基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计

• 作者: 徐华 李垒 李搏 王巍 贾培发 邹龙庆
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 功能仿真 物理气相沉积系统 半导体工艺设备 SEMI标准
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 599-604
• 分类号: TN305|TP39
• 字数: 3876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

摘要

设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性.在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证.该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析.