NaOH-NaClO腐蚀液制备太阳电池用多晶硅绒面的研究

• 作者: 沈艳婷 黄仕华
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅太阳电池 制绒 NaOH-NaClO腐蚀液
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 65-69
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种采用NaOH-NaClO混合腐蚀液制备多晶硅绒面的新方法。研究结果表明,当VNaOH：VNaClO=1：3,NaOH浓度为17%,腐蚀温度为80℃,腐蚀时间为20min时,能够得到均匀的沟壑状凹坑多晶硅绒面,腐蚀后硅片表面的反射率与未腐蚀的硅片表面的反射率相比,降低近30%。另外,与传统的HF：HNO3酸腐蚀工艺相比,这种新型腐蚀工艺不仅可以获得反射率更低的多晶硅绒面结构,而且反应过程中产生的具有高度活性的氯离子可以作为很好的吸杂剂,降低一些有害的金属杂质的活性以提高太阳电池的开路电压,同时也省去了在产业化生产过程中的盐酸处理,从而改善了生产环境。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄仕华	浙江师范大学材料物理系	35	96	5.0	8.0
2	沈艳婷	浙江师范大学材料物理系	1	15	1.0	1.0