掩模清洗机加热系统控制及故障排除

• 作者: 严剑荫 陈卓
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 掩模 手持监控器 PID控制 06流监控器 安全电路 加热脉冲
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 清洗技术与设备
• 页码范围: 39-45
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 4951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.06.011

摘要

在集成电路掩模（Mask）生产过程中，清洗机是关系到掩模制板质量的一个重要设备。N为掩模工艺需要使用大量的化学溶剂．并需配置多个加热控制系统，致使清洗设备成为一个故障率高、易损件损坏多的设备。介绍清洗机加热系统控制原理，其中包括GeniusI／0、手持监控器、PID控制、电流监控器、安全电路和加热脉冲。对其控制原理及电路进行了解析，最后通过应用实例给出了故障的排除方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈卓		4	3	1.0	1.0
2	严剑荫		2	1	1.0	1.0