接触接近式曝光机曝光方式浅析及实例

• 作者: 周庆奎 宫晨 李霖
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 曝光机 曝光方式 曝光工艺 必要性
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设各
• 页码范围: 24-25,30
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.06.007

摘要

不同的曝光方式适应不同的曝光工艺，对接触接近式曝光机的曝光方式进行了研究，分析了不同曝光方式适用的场合。并给出了一个通过改进曝光方式实现曝光工艺的成功实例，进一步证明了将产品生产工艺知识融入到半导体设备设计研发过程中的必要性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周庆奎	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	11	2.0	3.0
2	李霖	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	12	2.0	3.0
3	宫晨	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	10	2.0	3.0