预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC管控中的应用

• 作者: 刘彦云 李明 黄其煜
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 预浓缩气相色谱质谱 挥发性有机化合物 洁净室 化学过滤器
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 31-34,50
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.09.010

摘要

对预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC（Volatile Organic compound,挥发性有机化合物）管控中的应用进行了系统的归纳和总结。主要从三个方面的应用进行了讨论：一是洁净室VOC来源确认,二是确认厂务系统处理效率的应用,三是厂务系统处理最终效果的确认。也是实验室分析仪器在半导体行业应用方面的成功范例。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄其煜	上海交通大学微电子学院	37	221	7.0	14.0