基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制

• 作者: Konrad Herrmann 张志凯 滑晓欣 高赛
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微机电系统 纳牛力致动器 微牛/纳牛拉伸测试 原子力显微镜 静电侧向梳齿
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 303-307
• 分类号: TB93
• 字数: 1866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.04.04

摘要

阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统.开发了一种多功能的纳牛力致动器,可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要,该致动器基于微机电系统,以静电侧向梳齿为基本结构,采用变间隙设计结构,实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率(nN量级)和大输出力(大于1mN),并介绍了该测试系统的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志凯		12	18	3.0	3.0
2	滑晓欣		1	1	1.0	1.0