多步退火对(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜的影响

• 作者: 丑修建 张文栋 杜妙璇 耿文平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 反铁电厚膜 退火工艺 微观结构 电学特性
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 263-267,279
• 分类号: TB34
• 字数: 3734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.04.010

摘要

采用溶胶-凝胶技术,在Pt (111) /Ti/SiO2/Si (100)基底上制备Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了单步和多步退火工艺对反铁电厚膜结构及电学性能的影响.结果表明:与传统的单步退火方式相比,多步退火工艺制备的反铁电厚膜材料晶粒尺寸较大,结构致密性好,室温下反铁电态更稳定,具有良好的择优取向度(100)、较高的介电常数(达529)和饱和极化强度(达42 μC/cm2).其反铁电-铁电和铁电-反铁电的相变电场强度分别为198和89 kV/cm,反铁电-铁电相变电流密度达2×10-5 A/cm2,多次退火工艺可提高反铁电厚膜的成膜质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	杜妙璇	中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	9	2.0	3.0
3	耿文平	中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	2	1.0	1.0
4	丑修建	中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0