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摘要:
极特先进科技公司(GT Advanced Technolo-gies Inc.)(NASDAQ:GTAT)日前宣布推出新的大容量氢氯化反应解决方案,该方案能够在单一的氢氯化反应流化床还原炉(FBR)中生产足够的三氯硅烷(TCS),为年产能超10000吨的多晶硅工厂提供支持。这种新型解决方案无需多个氢氯化反应流化床还原炉,因而可将各工厂拥有成本较当前的三氯硅烷生产方法降低20%。氢氯化反应FBR解决方案还包括极特新一代氢氯化反应加热器,可将氢氯化反应FBR的转换率从27%提高到30%,从而进一步节省成本。
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文献信息
篇名 大容量氢氯化反应FBR解决方案
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 氢氯化反应 FBR 大容量 三氯硅烷 生产方法 还原炉 流化床 Inc
年,卷(期) 2012,(10) 所属期刊栏目 企业之窗
研究方向 页码范围 67-67
页数 1页 分类号 TQ655
字数 909字 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
氢氯化反应
FBR
大容量
三氯硅烷
生产方法
还原炉
流化床
Inc
研究起点
研究来源
研究分支
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相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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