基于像散原理的并行共焦检测的微形貌参数的可视化测量

• 作者: 刘文文 赵晶晶
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构检测 表面重构 可视化测量 累加弦长双三次样条
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 5-10
• 分类号: O439|TP391
• 字数: 3871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2012.05.002

摘要

为实现对微结构表面轮廓参数的精确测量,用基于像散原理的并行共焦检测系统获取微结构表面的三维信息,进而实现对微结构表面参数的可视化测量.考虑到微结构表面特点,采用累加弦长双三次样条插值曲面对其表面进行重构.并选择高的插值细分倍率获得连续光顺廓形表面,通过拾取拟合曲面上的点而不是廓形局部三角面片上的点实现三维廓形参数评定.由重构曲面模拟结果显示:累加弦长双三次样条重构微结构表面可以有效地实现对微结构表面参数的精确测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文文	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	37	349	12.0	17.0
2	赵晶晶	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	10	2.0	3.0