一种新型全自动激光划切机

• 作者: 刘婷婷 刘红英 张孝其 赵志伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 自动上下料 振镜扫描
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体材料及设备
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1704字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种新型全自动激光划切机技术原理与工作流程，并对关键结构模块进行了阐述。该设备可针对框式堆叠物料，进行自动上下料。激光加工结合了振镜扫描精准、快速的特点和精密定位工作台大行程移动的优势，尤其适合大尺寸工件复杂图形的精密加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘红英	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	4	1.0	1.0
2	张孝其	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	20	2.0	4.0
3	刘婷婷		7	4	2.0	2.0
4	赵志伟	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	3	1.0	1.0