产品名称：双离子溅射沉积镀膜机

• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 物理学
• 关键词: 溅射沉积 双离子 产品名称 镀膜机 离子束溅射 产品特点 衬底 薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 93-93
• 页数: 1页
• 分类号: O484.1

摘要

产品特点： 1．离子束溅射清洗（IBSC）衬底； 2．离子束终极抛光（IBP）；衬底 3．离子柬溅射沉积（IBSD）薄膜；