200mmx200mm OLED步进投影曝光机

• 作者: 周畅 李喜峰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 有机发光二极管(OLED)显示 曝光机 关键尺寸(CD) 套刻(Overlay)
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 12-16,53
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.03.005

摘要

有机发光二极管（OLED）尤其是AMOLED由于其独特的性能．其可能成为下一代显示技术。目前AMOLED显示还未达到量产之前．200mmx200mm的研发线对于AMOLED技术工艺验证尤为重要。AMOLED对TFT曝光的要求（CD均匀性、套刻精度等）较TFT—LCD高。基于此，介绍了可用于OLED研发要求的步进投影曝光机SSB200／10A，实测数据及显示器件成功开发表明该设备能够很好地满足AMOLED工艺要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李喜峰	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	21	70	5.0	6.0
2	周畅		8	27	4.0	4.0