应用材料公司推出针对万亿比特世代的突破性刻蚀技术

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 刻蚀技术 应用材料公司 突破性 世代 比特 ar系统 闪存芯片 NAND
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 63-63
• 页数: 1页
• 分类号: TN405.98
• 字数: 819字
• 语种: 中文

摘要

·Applied Centura Avatar系统克服挑战，刻蚀全新的三维NAND闪存芯片 ·在同一工艺中实现80：l深宽比结构和渐变深度差异很大结构的刻蚀