天线效应对LPNP管输出曲线的影响

• 作者: 汤赛楠 郑若成
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 天线结构 输出曲线 翘曲 发射极结 保护环
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 25-27,48
• 分类号: TN305
• 字数: 1273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2012.01.009

摘要

天线结构是监控半导体工艺过程中等离子体损伤的一种典型结构，一般主要用来监控MOS器件栅氧的损伤。文中，该结构用来监控横向PNP（LPNP）管工艺过程中的发射极结损伤。实验发现，带天线结构的LPNP管的输出曲线容易出现翘曲现象，分析认为该异常不是由于发射极结损伤造成的，因为发射极结工艺过程中并没有受到损伤。同时发现该翘曲现象在LPNP管保护环接低电位时会消失，该低电位在很大范围内变化时，输出曲线基本一致，且输出曲线电流较保护环悬空时的电流整体偏大，在集电极电压较大时，输出电流和保护环悬空时的电流一致。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑若成		20	44	4.0	5.0
2	汤赛楠		1	0	0.0	0.0