浅谈高频干扰对硅芯炉的影响及防护措施

• 作者: 吴斌 姚婕 雷小博
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高频电源 硅芯炉 高频噪声 防护措施
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 13-15,39
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 2355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.04.003

摘要

高频电源是硅芯生产设备中的重要组成部分。目前硅芯炉都具备单炉次拉制多根硅芯的能力。与早期拉制单根设备相比需要母料的体积加大,直径不断加粗。母料体积越大,就越难熔化,因此高频电源都需要提高振荡频率来熔化更粗的母料。伴随着振荡频率增加高频噪声也相应增加。同时对硅芯炉电气控制柜及其内部的电气元件的干扰也就随之增大。主要分析高频噪声对硅芯炉运行产生的干扰及其原因和危害,同时针对这些干扰提出一些防护措施。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚婕		3	4	1.0	1.0
2	雷小博		5	11	2.0	3.0
3	吴斌		2	1	1.0	1.0