高线密度X光透射光栅衍射效率

• 作者: 刘慎业 张文海 曹磊峰 朱效立 谢常青
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 透射光栅 衍射效率 实验标定 高线密度
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2347-2350
• 页数: 4页
• 分类号: TL817
• 字数: 1570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122410.2347

摘要

高线密度X光透射光栅是各种高分辨光栅摄谱仪的核心色散元件,为了获得较高的光谱分辨率,工作在2～5 keV能区的光谱仪需要使用5000 l/mm的X射线透射光栅.为了获得光栅的绝对衍射效率,采用同步辐射光在多个能点对5000 l/mm的X光透射光栅进行衍射效率实验标定,通过光栅相对衍射效率拟合获得了光栅结构参数,与光栅结构测量结果非常接近.然后,采用衍射效率的矩形栅线模型,计算得到了光栅的绝对衍射效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘慎业	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	113	323	9.0	11.0
2	谢常青	中国科学院微电子研究所	50	258	9.0	12.0
3	曹磊峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	85	6.0	8.0
4	朱效立	中国科学院微电子研究所	19	86	6.0	8.0
5	张文海	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	72	5.0	8.0