Manz发布业界产出量最快的湿制程设备加快cSi生产制程整合

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 制程设备 产业整合 cSi 产出量 晶体硅太阳能电池 生产 太阳能产业 扩散过程
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 61-62
• 页数: 2页
• 分类号: TN405
• 字数: 1564字
• 语种: 中文

摘要

高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC2012第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛（展位：E3馆，310），届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSGCEI4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。