基于自感知压电换能器的键合质量检测方法研究

• 作者: 冯武卫 孟庆丰 张玉莲
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超声键合 键合质量 特征提取 自感知压电换能器
• 年，卷（期）: 2012,（14）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1645-1650
• 页数: 6页
• 分类号: TN605
• 语种: 中文

摘要

将换能器耦合电信号作为识别键合质量的信息载体，研究了耦合信号的特征提取、模式识别方法及实际应用。提出了一种换能器耦合信号细化特征提取方法，该方法以三个关键键合过程即去除氧化膜、键合点塑性变形、应力扩散为依据，将瞬态耦合信号分段进行特征提取。采用主分量分析技术对提取的特征进行选择，通过BP神经网络对键合缺陷特征进行分析，有效地识别了无引线键合缺陷，预测了键合点剪切力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉莲		69	272	8.0	12.0
2	孟庆丰		48	704	12.0	25.0
3	冯武卫		24	49	4.0	6.0