内端固定三轴梳齿电容式加速度计

• 作者: 于家锟 刘凤丽 郝永平
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 电容 加速度计 三轴 Conventor Ware
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器与仪表
• 页码范围: 18-20
• 分类号: TP212
• 字数: 1608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.07.007

摘要

基于多轴加速度计的构成方式,提出了一种新型的三轴向梳齿式电容加速度计.内部支撑梁与外部可动电极相连接的结构,在体积相同的条件下,增加了输出电容;采用完全对称结构,支撑梁与电极板等厚,增加稳定性的同时提高了抗过载能力;完全对称的梳齿分布,避免了水平向加速度的相互干扰;可动齿与不动齿的不对称结构,避免了水平向对z轴向的干扰.利用MEMS专业有限元软件ConventorWare对其进行静态分析、抗过载分析和模态分析,此加速度计在满量程状态下能安全工作,工作频率为94.1 kHz.