激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计

• 作者: 张文斌 杨松涛 连军莉 靳卫国
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 时序设计 PZT陶瓷
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2542字
• 语种: 中文

摘要

针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求．改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式，设计并实现新的激光加工工艺时序，拓展了激光加工设备的应用领域。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨松涛	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	37	3.0	5.0
2	连军莉	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	23	3.0	4.0
3	张文斌	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	19	2.0	4.0
4	靳卫国	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	12	2.0	3.0